STMによるEEM(Elastic Emission Machining)の加工機構の解明

• 加藤 潤

  大阪大学　大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

• 久保田 章亀

  熊本大学　工学部知能生産システム工学科

• 有馬 健太

  大阪大学　大学院工学研究科精密科学応用物理学専攻

• 山村 和也

  大阪大学　大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

• 森 勇藏

  大阪大学　大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

• 山内 和人

  大阪大学　大学院工学研究科精密科学応用物理学専攻

• 遠藤 勝義

  大阪大学　大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

書誌事項

タイトル別名

• Investigation of machining mechanism in Elastic Emission Machining by STM

抄録

現在、電子デバイスの分野では表面のマイクロラフネスと結晶格子の乱れを最小限にした基板が必要とされている。EEMは粉末微粒子表面と加工物表面間での科学的相互作用を利用したウエット環境下で行われる新しい概念の超精密加工法である。本研究では、フッ化アンモニウム溶液によって平坦化処理したSi(111)を加工することで、この加工法による表面創生機構を原子レベルで明らかにした。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2005A (0), 779-780, 2005

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• EEM
• 走査型トンネル顕微鏡
• Si(111)

詳細情報

• CRID: 1390001205649493504
• NII論文ID: 130004657161
• DOI: 10.11522/pscjspe.2005a.0.779.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可