表面ホール電位測定による半導体材料の電気的性質の評価

• 桧皮 賢治

  大阪大学　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻

• 仲岡 亮史

  大阪大学　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻

• 森田 瑞穂

  大阪大学　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻

• 有馬 健太

  大阪大学　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Surface Hall Potentiometry to Evaluate Electronic Properties inside Semiconductor Materials

抄録

本研究では半導体薄膜内部の特異な構造や電子状態を局所的に評価をすることが目的である。これを実現するために、水平磁場印加に伴って薄膜内部で生じるホール効果を表面に電位として投影する手法を提案する。今回は、試料水平面内での磁場印加とケルビン法による表面電位測定が可能な装置の試作を行った。そして、p型、n型のシリコンウエハ及び絶縁体基板上のSOI層において表面ホール電位を検出することに成功した。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2005A (0), 789-790, 2005

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• ケルビン法
• 表面ホール電位
• SOI
• キャリアタイプ

詳細情報

• CRID: 1390282680626189440
• NII論文ID: 130004657166
• DOI: 10.11522/pscjspe.2005a.0.789.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可