フェムト秒レーザによる微細加工法に関する研究

• 若林 正毅

  埼玉大学　大学院　理工学研究科

• 池野 順一

  埼玉大学　大学院　理工学研究科

• 安斎 正博

  理化学研究所　和光研究所

• 大森 整

  理化学研究所　和光研究所

書誌事項

タイトル別名

• Study on Femtosecond Laser Micro Processing

抄録

近年、レーザ微細加工が盛んに行なわれるようになった。特に超短パルスレーザにおける微細加工の進展は目覚しい。本報では、フェムト秒レーザを用いた新たな微細加工法の可能性を見出したので報告する。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2005A (0), 83-84, 2005

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• フェムト秒レーザ
• レーザ加工
• ガラス
• 微細加工

詳細情報

• CRID: 1390282680626249600
• NII論文ID: 130004657189
• DOI: 10.11522/pscjspe.2005a.0.83.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可