表層溝欠陥を導入したレーザ割断法

• 山田 啓司

  広島大学 大学院工学研究科

• 山根 八洲男

  広島大学 大学院工学研究科

• 關谷 克彦

  広島大学 大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Laser Thermal Cleaving with Small Groove on Surface as Initial Defect

抄録

レーザ光走査によって生ずる熱応力を利用した割断法において，き裂進展の端緒となる初期欠陥として表面に溝を形成している．本研究では，提案する方法による割断加工の基本的特徴と加工特性について調べている．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2006A (0), 597-598, 2006

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• レーザ割断
• 熱応力
• 脆性材料

詳細情報

• CRID: 1390282680628629248
• NII論文ID: 130004658243
• DOI: 10.11522/pscjspe.2006a.0.597.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可