弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密位置決め機構:第3報,3自由度平面位置決め機構による連続軌跡制御 Ultra-precise Positioning over A One-Millimeter Stroke Using Flexure Guide And Electromagnetic Actuator:3rd report, Continuous-Path Control of Planer Positioning mechanism with Three Degrees of Freedom

Access this Article

Author(s)

Abstract

前報では,X-Y-Yawの3自由度平面位置決め機構を構成し,1辺60mmの位置決めステージを,ミリストロークにわたってナノメートルレベルの分解能でPTP位置決め可能であることを確認した.本報では3自由度を連動させた連続軌跡運動制御について実験とシミュレーションにより検討している.制御性能をCAS(累積振幅スペクトル)で評価し,直径1mmの円弧運動に対して追従偏差20nm(RMS)を得ている.

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2008A(0), 563-564, 2008

    The Japan Society for Precision Engineering

Codes

Page Top