サブメートル級ナノ粒子配列膜製造技術の開発(5) Fabrication of the large-sized single crystalline film of nanoparticles in two dimensional by using directed self-assembly approaches

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自己組織化法はデバイスを安価で大量に生産できるため、ナノテクノロジーを実用化するための有効な手段である。しかし、集積構造のばらつきが発生するため歩留まりが低下するという問題点がある。筆者らは自己組織化プロセスの数値制御をおこなうことにより、ナノ粒子を高密度かつ高精度に集積する技術の開発をおこなっている。本発表では、移流集積法によるナノ粒子の自己組織的配列プロセスの精密制御について検討した。

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2008A(0), 689-690, 2008

    The Japan Society for Precision Engineering

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