数値制御ローカルウェットエッチング法による高精度光学素子の作製:中性子集光用楕円面ミラーの作製 第V報 Fabrication of ultraprecision optical devices by numerically controlled local wet etching

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Abstract

物性研究において中性子ビームを用いた測定が注目されているが、強度が弱いため測定に多大な時間を要するという欠点を持っている。測定時間の短縮のためには発散する中性子を集光する高精度光学素子が必要となる。我々は数値制御ローカルウエットエッチング法を用いた楕円筒面ミラーの作製を行い、未集光に比べ6倍のゲインを達成した。しかし、これではまだ不十分であり、さらなる強度向上には長尺化と多重化が必要となる。本稿では、ミラーの多重化に向けた薄基板の加工について述べる。

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2009A(0), 153-154, 2009

    The Japan Society for Precision Engineering

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