大気圧プラズマを援用した難加工材料加工プロセスの開発(第1報)  [in Japanese]

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Abstract

本研究では、SiC等の難加工材料の表面に大気圧プラズマを照射することによって表面の機械的性質を改質し、容易な除去を可能とする新しい加工プロセスの開発を目的としている。本報では、任意ガスを導入した大気圧プラズマの照射によって生じたSiC基板の結晶学的構造及び機械的性質の変化に関して考察する。

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2009A(0), 163-164, 2009

    The Japan Society for Precision Engineering

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