フェムトパルストレインによる表面原子加工システムの開発

• 福田 悠介

  大阪大 工学研究科 機械工学専攻

• 林 照剛

  大阪大 工学研究科 機械工学専攻

• 道畑 正岐

  大阪大 工学研究科 機械工学専攻

• 高谷 裕浩

  大阪大 工学研究科 機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Development of the interatomic bond processing system by femto pulse shaping

抄録

フェムト秒レーザー加工では超短パルス光の照射による高強度電解によって照射スポットにコヒーレントフォノンと呼ばれる数十ピコ秒で減衰する格子振動が励起され、熱拡散を伴わない非熱的な局所加工が生じる。このコヒーレントフォノンをフェムトパルストレインによって制御し、光子－量子の直接作用による加工原理の確立を目指す。本報では超短パルス波形整形システムの構築と整形したパルスの時間分解波形測定について報告する。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2011A (0), 387-388, 2011

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 微細加工
• フェムト秒レーザー
• 波形整形

詳細情報

• CRID: 1390001205655206272
• NII論文ID: 130004660205
• DOI: 10.11522/pscjspe.2011a.0.387.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可