硬X線集光用多層膜ミラーの開発

• 金 章雨

  大阪大 工学研究科

• 横山 光

  大阪大 工学研究科

• 松山 智至

  大阪大 工学研究科

• 三村 秀和

  東京大 工学研究科

• 佐野 泰久

  大阪大 工学研究科

• 香村 芳樹

  理化学研

• 石川 哲也

  理化学研

• 山内 和人

  大阪大 工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Development of multilayer mirror for hard X-ray focusing

抄録

X線顕微技術の性能向上を図る上で，高分解能，シグナルの増大の観点から，集光光学素子の役割は非常に大きい．様々な集光光学素子の中でも，多層膜集光ミラーは，微細集光を実現する上で最も有効な集光光学素子である．我々は，マグネトロンスパッタを用いて多層膜集光ミラーの開発を行い，SPring-8のBL29XULにおいて集光プロファイルの評価を行った．本発表では作製プロセス及び，評価した結果に関して報告する．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2011A (0), 473-474, 2011

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 多層膜
• スパッタリング
• 硬X線ミラー
• X線自由電子レーザー
• 第3世代放射光

詳細情報

• CRID: 1390282680631589248
• NII論文ID: 130004660253
• DOI: 10.11522/pscjspe.2011a.0.473.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可