大気開放下におけるプラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の銅メタライジング:過酸化物ラジカルの存在形態と無電解銅めっき膜の密着強度の相関  [in Japanese]

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Author(s)

    • 大岡 健人 Ooka Kento
    • 大阪大 工学研究科 附属超精密科学研究センター Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering
    • 秋山 弘貴 Akiyama Hiroki
    • 大阪大 工学研究科 附属超精密科学研究センター Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering
    • 山本 悠人 Yamamoto Yuto
    • 大阪大 工学研究科 附属超精密科学研究センター Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering
    • 是津 信行 Zettsu Nobuyuki
    • 名古屋大 工学研究科 マテリアル理工学専攻 Department of Materials, Physics and Energy Engineering Graduate School of Engineering
    • 山村 和也 Yamamura Kazuya
    • 大阪大 工学研究科 附属超精密科学研究センター Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering

Abstract

我々は次世代高周波材料として期待されているフッ素ポリマー表面への銅メタライジングの開発を進めてきた.大気圧プラズマプロセスとナノレベルの自己組織化プロセスを組み合わせた大気圧プラズマ化学液相堆積法を用いることにより,フッ素ポリマー表面の平滑性を維持したまま高密着性銅メタライジングを実現してきた.本研究では,プラズマ処理後,フッ素ポリマーに形成される過酸化物ラジカルの構造と無電解銅めっき膜の密着強度の相関を評価した.

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2011A(0), 537-538, 2011

    The Japan Society for Precision Engineering

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