表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの選択的捕捉（第一報）

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Selective trapping of the stylus of laser trapping based probe on microscopic surface structure(1st report)
  • Adhesion force reduction and optical force enhancement by using microscopic structure
  • 微細構造による吸着力低減および光放射圧増強

抄録

我々は光放射圧により直径8µmの微小球を捕捉し，CMMプローブとして用いている．プローブとしては任意の単一粒子を選択して捕捉することが望ましいが，基板との間に吸着力（µNオーダ）が働くため，プローブ球を光放射圧（pNオーダ）のみで離床させることは困難である．本研究では，表面にナノスケールの凹凸をもつ基板に球を置くことでその選択的捕捉を行う．本報では，微細構造による吸着力低減および光放射圧増強について調べた．

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205656649600
  • NII論文ID
    130004660763
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012a.0.491.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ