同心円回折格子を用いた軸受けのラジアル アキシャル アンギュラーモーションの一括測定

• 上杉 修平

  長岡技科大　大学院　機械創造工学専攻

• Muhammad Madden

  長岡技科大　大学院　博士課程

• 熊谷 卓也

  長岡技科大　大学院　機械創造工学専攻

• 前田 能孝

  長岡技科大　工学部　機械創造工学課程

• 明田川 正人

  長岡技科大　工学部　機械創造工学課程

書誌事項

タイトル別名

• 第4報　周波数変調によるリサージュダイアグラムの取得

抄録

前報までの変位センサの構成はフォトダイオードを4個×3セット使用しアライメントが困難であった．また，得られるリサージュダイアグラムはスピンドルの回転に伴い中心，半径が変動した．本報では周波数可変レーザを用いた正弦波位相変調法を採用し，センサ1セットに対しフォトダイオードを2個とした．干渉縞信号を同期検波することで90°位相の異なる2つの正弦波を得た．さらに，リサージュダイアグラムを規格化した．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2012A (0), 927-928, 2012

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 同心円回折格子
• アキシャルモーション
• ラジアルモーション
• アンギュラーモーション
• スピンドル

詳細情報

• CRID: 1390001205655447552
• NII論文ID: 130004661005
• DOI: 10.11522/pscjspe.2012a.0.927.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可