光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第1報)
書誌事項
- タイトル別名
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- Scanning measurement of 3-dimensional surface based on the laser trapping based probe with the standing wave scale (1st report)
- Simplified model for probe sphere motion
- プローブ球挙動の簡易モデルの提案
抄録
本研究では、レーザトラップにより空間に捕捉した直径8μmのガラス球をセンサとして用い、そのガラス球から測定面の光軸にそって形成される光定在場スケールを用いて表面形状のスキャニング測定を行う。本法では、レーザトラップと定在場スケールから受ける光放射圧を分離して考え、センサのガラス球が受ける合力を簡易的にモデル化することでガラス球の力学的挙動を検討する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2012A (0), 971-972, 2012
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205655654400
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- NII論文ID
- 130004661030
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可