大気圧プラズマプロセスをベースとした単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦化・平滑化（第2報）

• 田畑 雄壮

  大阪大　大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

• 門奈 剛毅

  大阪大　大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

• トウ 輝

  大阪大　大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

• 牧山 真也

  大阪大　大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

• 遠藤 勝義

  大阪大　大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

• 山村 和也

  大阪大　大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

書誌事項

タイトル別名

• 石英ガラスを工具としたプラズマ援用研磨におけるプラズマ照射の効果

抄録

単結晶ダイヤモンド基板の高品位・高能率な研磨プロセスとして，大気雰囲気で直流パルス電源を用いたプラズマ照射を援用した研磨法の適用を検討した．プラズマ照射しながら100分間研磨した場合の基板温度は75℃以下だった．プラズマを照射せずに基板を100℃に加熱し同時間研磨した場合の加工痕深さは，プラズマ援用研磨時の25%程度で，加工量増大には熱流入の影響だけでなく，プラズマからの紫外線やラジカルによる影響が考えられる．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2013A (0), 225-226, 2013

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 単結晶ダイヤモンド
• 大気圧プラズマ
• 研磨
• 平滑化
• ダメージフリー

詳細情報

• CRID: 1390282680631715968
• NII論文ID: 130004661112
• DOI: 10.11522/pscjspe.2013a.0.225.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可