超短パルスレーザによるガラスの内部加工と加工現象の解析

• 大村 悦二

  大阪大　大学院　工学研究科

• 小松原 伸明

  大阪大　大学院　工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Internal Processing of Glass by Ultrashort Pulse Laser and Analysis of Its Processing Phenomena

抄録

フェムト秒のレーザーによって、ガラスの内部の加工を行った。パルス間距離が一定にして、レーザーを繰返し照射した。パルスの時間間隔が比較的長いとき、細長い三角形状のパターンが得られた。他方、時間間隔が比較的短いとき、羽ペン状パターンが発生した。前者が二光子吸収によって、後者は、さらに蓄熱効果のため線形吸収係数の温度依存性によっても発生すると推測した。これらの妥当性は、簡単な熱伝導解析によって確認した。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2013A (0), 269-270, 2013

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 超短パルスレーザ
• 内部加工
• 2光子吸収
• 蓄熱効果

詳細情報

• CRID: 1390001205654956800
• NII論文ID: 130004661136
• DOI: 10.11522/pscjspe.2013a.0.269.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可