Evaluation of mechanical properties of micro three-dimensional structures fabricated using a laser trap technique

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  • レーザートラップを用いた電気泳動による局所的堆積法により造形された微細立体構造物の機械的物性評価

Abstract

我々は，電気泳動堆積法とレーザートラップを組み合わせた局所的電気泳動堆積法を開発し，これまでに液中でのコロイドナノ微粒子をドット堆積やラインパターニングなど２次元的に基板を堆積させる技術の他，その応用による３次元での微細構造の堆積について報告してきた．本報告では電子顕微鏡内で動作可能なマニピュレータを用いて本手法を用いて作製した３次元構造物の機械的物性の評価を行ったので報告する．

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680631433088
  • NII Article ID
    130004661183
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2013a.0.351.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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