光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定（第3報）

• 上田 真一

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 道畑 正岐

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 林 照剛

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 高谷 裕浩

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Scanning measurement of 3-dimentional surface based on the laser trapping based probe with the standing wave scale (3rd report)
• Investigation of errors in scale interpolation
• スケールの内挿誤差の検討

抄録

ナノメートルオーダで三次元形状を評価する技術が要求されている．そこで我々は光放射圧プローブを用いた定在場スケールによるスキャニング測定を提案している．定在場スケールはレーザの半波長(532nm)と大きく，スケールの内挿が必要である．そこで本報では光放射圧プローブの位置を反映したプローブ信号をモデル化することによってスケールの内挿を行うとともに，内挿誤差要因を検証し，その可能性について検討した．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2013A (0), 355-356, 2013

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 定在場
• 光放射圧プローブ
• 内挿

詳細情報

• CRID: 1390282680631432064
• NII論文ID: 130004661185
• DOI: 10.11522/pscjspe.2013a.0.355.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可