蛍光検出によるマイクロトレンチ構造の3次元形状計測（第1報）

• 福井 彩乃

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 道畑 正岐

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 林 照剛

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 高谷 裕浩

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Three-dimensional Shape Measurement of Micro-trench by Fluorescence Detection
• Property of Fluorescence Signal detected from Vertical Sidewall
• 垂直面から検出される蛍光信号特性

抄録

MEMSなどに多く用いられる形状にトレンチ構造がある。これはマイクロメートルオーダーの幅や高さの構造を持つため、触針式や光学式による従来の測定技術では形状計測が困難となっている。そこで本研究では、マイクロトレンチ構造の3次元形状計測を可能にすることを目的とし、蛍光検出を用いた3次元形状計測原理を提案する。本報では垂直面から検出される蛍光信号の特性を報告する。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2013A (0), 359-360, 2013

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 蛍光検出
• 垂直面
• 共焦点光学系
• 3次元形状計測
• マイクロトレンチ

詳細情報

• CRID: 1390001205654719488
• NII論文ID: 130004661187
• DOI: 10.11522/pscjspe.2013a.0.359.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可