大気開放型プラズマCVMを用いた形状創成における高精度化・高効率化に関する研究（第1報）

• 畑 祐輝

  大阪大　工学研究科　精密科学専攻

• 竹田 善紀

  大阪大　工学研究科　精密科学専攻

• 伊藤 丈予

  大阪大　工学研究科　精密科学専攻

• 遠藤 勝義

  大阪大　工学研究科　精密科学専攻

• 山村 和也

  大阪大　工学研究科　精密科学専攻

書誌事項

タイトル別名

• プラズマジェット加工方式における基礎的加工特性の評価

抄録

大気開放型数値制御プラズマCVM法は，大気圧プラズマにより生成したラジカルと加工物表面の化学反応を利用した超精密形状創成法である．我々は，プラズマCVMにおけるArガスをキャリアガス，CF4,O2を反応ガスとして用いるプラズマジェット型加工ヘッドの開発に取り組んでいる．本報では，開発したプラズマジェット型加工ヘッドを用いて石英ガラス基板の加工を行い，基礎的な加工特性を評価した．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2013A (0), 681-682, 2013

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• プラズマCVM
• プラズマジェット

詳細情報

• CRID: 1390001205654633728
• NII論文ID: 130004661365
• DOI: 10.11522/pscjspe.2013a.0.681.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可