ソフトウェアエージェントを用いた成膜プロセスシミュレーション計算過程の自動モデル化に関する研究

• 高橋 崇宏

  静大工

• 荒川 正幹

  東大院工

• 船津 公人

  東大院工

• 江間 義則

  静大工

Journal

• 化学工学会　研究発表講演要旨集

  化学工学会　研究発表講演要旨集 2005 (0), 581-581, 2005

  The Society of Chemical Engineers, Japan

Keywords

• software agent
• neural network
• chemical vapor deposition

Details

• CRID: 1390001205684929152
• NII Article ID: 130004663799
• DOI: 10.11491/scej.2005.0.581.0
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • CiNii Articles
  • KAKEN