ナノビームSIMSを用いたshave-off深さ方向分析 The shave-off depth profiling by the nano-beam SIMS

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Abstract

我々が開発したshave-off深さ方向分析法は、ダイナミック条件の一次イオンビームをビームの側面で試料の端面から削りながらデプスプロファイルを取得するという大変ユニークな深さ方向分析法である。本手法に、TEMの薄膜試料作製に用いられているFIBを用いたlift-out技術を応用することで、さらにその適用範囲を広げ汎用性を高めることが可能となったので報告する。

Journal

  • Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan

    Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 24(0), 116-116, 2004

    The Surface Science Society of Japan

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