全方位角度分解散乱光計測による加工表面性状解析技術

• 高谷 裕浩

  大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻

• 林 照剛

  大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻

• 道畑 正岐

  大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Ultra-finished Surface Areal-topography Analysis Based on Total Angle-resolved Laser Light Scattering
• ゼンホウイ カクド ブンカイ サンランコウ ケイソク ニ ヨル カコウ ヒョウメン セイジョウ カイセキ ギジュツ

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 80 (6), 514-518, 2014

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• surface inspection
• areal-topography
• laser light scattering
• total angle-resolved scattering
• glass lens mold

詳細情報

• CRID: 1390001204830344832
• NII論文ID: 130004745468
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.80.514
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 025577122
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025577122
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles