ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究:第3報:FIBにより先鋭化した加工用AFMカンチレバーを用いた微細V溝加工  [in Japanese] Study on micromachining using diamond array tool:3<sup>rd</sup> report : Machining of micro V-groove using sharpened cutting edge of AFM cantilever by FIB  [in Japanese]

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Abstract

本研究では,原子間力顕微鏡(AFM)機構と加工用AFMカンチレバーを用いて,微細かつ高精細なV溝加工を行うことを目的としている.本報では,集束イオンビームを用いて,ダイヤモンド切れ刃の先端角,すくい角,横すくい角を設けた加工用AFMカンチレバーを作製し,Ni-P合金に対して溝加工実験を行い,切れ刃形状が加工溝性状に及ぼす影響について検討を行った.その結果,先端角35°,すくい角0°の切れ刃を有する加工用AFMカンチレバーは,切れ刃断面形状を精度よく転写した微細V溝加工が可能であった.さらに,正の横すくい角を設けることにより,加工溝の盛り上がりを低減させることができた.

This study was performed to machine a high-definition micro V-groove using AFM and machining AFM cantilever. Here, a diamond cutting edge with point, front, and side angles of the AFM cantilever was fabricated by FIB. We discuss the effects of cutting edge shape on characteristics of the V-groove by machining Ni-P alloy. The results indicated that the cantilever with point angle 35° and front rake angle 0° was available for machining a high-definition micro V-groove. The bulge along the groove was reduced by using a cutting edge with positive side rake angle.

Journal

  • Journal of the Japan Society for Abrasive Technology

    Journal of the Japan Society for Abrasive Technology 58(7), 446-450, 2014

    The Japan Society for Abrasive Technology

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    130004835718
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN10192823
  • Text Lang
    JPN
  • ISSN
    0914-2703
  • NDL Article ID
    025577449
  • NDL Call No.
    Z16-1147
  • Data Source
    NDL  J-STAGE 
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