役に立つMEMSに向けて

• 江刺 正喜

  東北大学 原子分子材料科学高等研究機構

書誌事項

タイトル別名

• Toward Practically Applicable MEMS
• 植物生体電位を用いた人の振る舞い認知システムの開発
• ショクブツ セイタイ デンイ オ モチイタ ヒト ノ フルマイ ニンチ システム ノ カイハツ
• ヤク ニ タツ MEMS ニ ムケテ
• Development of Basic Human Behaviors Cognitive System using Plant Bioelectric Potential

抄録

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) play important roles as key components in systems. However it is not easy to be applied in market because these require heterogeneous knowledge and expensive facilities. Training of MEMS engineers who have practical experiences, accumulation and its exploitation of experiences and sharing of facilities are required for MEMS to be used in a market. Technical approaches for the practically applicable MEMS as hetero integration with circuit and packaging are described.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 134 (1), 1-6, 2014

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 微小電気機械システム
• マイクロシステム
• センサ
• ヘテロ集積化
• オープンコラボレーション

詳細情報

• CRID: 1390001204460259712
• NII論文ID: 130003382704
• NII論文ID: 130004849027
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.134.1
• DOI: 10.1541/ieejsmas.134.206
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 025641347
• NDL書誌ID: 025164920
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025641347
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025164920
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/1/134_1/_pdf
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/7/134_206/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可