Study on multi-functional thermal analysis with MEMS technology

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Other Title
  • MEMSを用いた複合熱分析法の研究

Abstract

本研究ではMEMS技術を利用し，ナノグラムレベルの微小試料の熱分析，質量分析，顕微観察が可能な複合熱分析法の開発を目的とする．研究内容は，まず熱電対，走査ヒータ，サーモパイル，補償ヒータを備えた長さ500ミクロンレベルのカンチレバー型チップカロリメータを製作し，高速・高感度熱分析と，カンチレバーの共振を利用した質量分析を行う分析システムの動作確認を行った．次に，振動計測系を小型化し，質量計測精度の理論的評価を実施した．更に，分析システムの真空中での挙動を実験的に調べ，周囲環境の影響を調べた．

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680563130496
  • NII Article ID
    130005018820
  • DOI
    10.11368/nhts.2009.0.240.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
    • KAKEN
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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