Ultra-precise Positioning over A One-Millimeter Stroke Using Differential Ball Screw - Construction of Experimental Positioning Mechanism -

• Fukada Shigeo

  Sinshu University

• Motohashi Shigeyuki

  Nidec TOSOK Co.

• Fukuoka Kazuki

  Nidec TOSOK Co.

• Fukui Daiki

  Sinshu University

• Aruga Naoto

  Sinshu University

Bibliographic Information

Other Title

• 差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め
• 基礎実験のための位置決め機構の構成

Abstract

本研究は，1 mm程度のストロークにわたってナノメートルレベルの分解能を持つ位置決め機構を，差動ボールねじを用いて実現することを目的とする．本報では，基礎的実験を行うために試作した差動ボールねじと位置決め機構の構成について報告する．ねじ軸外径12mm，基準リードが2.0mmと1.95mm（相対リード差0.05mm）の差動ボールねじを試作した．また試作した差動ボールねじのリード精度を詳細に測定して位置決め性能を検討している．

Journal

• Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

  Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2003A (0), 526-526, 2003

  The Japan Society for Precision Engineering

Keywords

• positioning
• ball screw
• differencial mechanism
• one-millimeter stroke
• nanometer resolution
• lead error

Details

• CRID: 1390282680625806080
• NII Article ID: 130005026809
• DOI: 10.11522/pscjspe.2003a.0.526.0
• Data Source:
  • JaLC
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• Abstract License Flag: Disallowed