差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め:基礎実験のための位置決め機構の構成 Ultra-precise Positioning over A One-Millimeter Stroke Using Differential Ball Screw - Construction of Experimental Positioning Mechanism -

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本研究は,1 mm程度のストロークにわたってナノメートルレベルの分解能を持つ位置決め機構を,差動ボールねじを用いて実現することを目的とする.本報では,基礎的実験を行うために試作した差動ボールねじと位置決め機構の構成について報告する.ねじ軸外径12mm,基準リードが2.0mmと1.95mm(相対リード差0.05mm)の差動ボールねじを試作した.また試作した差動ボールねじのリード精度を詳細に測定して位置決め性能を検討している.

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2003A(0), 526-526, 2003

    The Japan Society for Precision Engineering

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