差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め

• 深田 茂生

  信州大学　工学部　機械システム工学科

• 本橋 茂之

  日本電産トーソク　精密機器事業部

• 福岡 万貴

  日本電産トーソク　精密機器事業部

• 福井 大幹

  信州大学　工学部　機械システム工学科

• 有賀 直人

  信州大学　工学部　機械システム工学科

書誌事項

タイトル別名

• Ultra-precise Positioning over A One-Millimeter Stroke Using Differential Ball Screw - Construction of Experimental Positioning Mechanism -
• 基礎実験のための位置決め機構の構成

抄録

本研究は，1 mm程度のストロークにわたってナノメートルレベルの分解能を持つ位置決め機構を，差動ボールねじを用いて実現することを目的とする．本報では，基礎的実験を行うために試作した差動ボールねじと位置決め機構の構成について報告する．ねじ軸外径12mm，基準リードが2.0mmと1.95mm（相対リード差0.05mm）の差動ボールねじを試作した．また試作した差動ボールねじのリード精度を詳細に測定して位置決め性能を検討している．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2003A (0), 526-526, 2003

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 位置決め
• ボールねじ
• 差動機構
• ミリストローク
• ナノメートル分解能
• リード誤差

詳細情報

• CRID: 1390282680625806080
• NII論文ID: 130005026809
• DOI: 10.11522/pscjspe.2003a.0.526.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可