Fabrication of Micro Hollow Structure Made of Thin Film Metallic Glass - The Improvement of Fabrication Process and the Consideration of Deformation

• Hata Seiichi

  Tokyo Institute of Technology

• Yamanaka Takashi

  Institute of Technology

• Sakurai Jyunpei

  Tokyo Institute of Technology

• Shimokohbe Akira

  Tokyo Institute of Technology

Bibliographic Information

Other Title

• 薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作
• プロセスの改良と変形に関する考察

Abstract

筆者らは，圧力数Paの不活性ガスを密閉した薄膜金属ガラス平面的構造を，過冷却液体域に加熱することで，密閉したガスの膨張と，薄膜金属ガラスの軟化を利用したマイクロブロー成形を行い，微細中空構造とする新しい加工法を提案している．本報では，プロセスの改良により，直径100μm，高さ約50μm，厚さ約0.25μmの半球形状の微細中空構造の製作と，その成形に関する考察について述べる．

Journal

• Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

  Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2003A (0), 707-707, 2003

  The Japan Society for Precision Engineering

Keywords

• MEMS
• Micro fabrication
• thin film
• amorphous
• blow molding
• metallic glass

Details

• CRID: 1390001205649029632
• NII Article ID: 130005026971
• DOI: 10.11522/pscjspe.2003a.0.707.0
• Data Source:
  • JaLC
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• Abstract License Flag: Disallowed