Large output force out-of-plane MEMS actuator array

• Fukushige Takashi

  Tokyo Institute of Technology

• Hata Seiichi

  Tokyo Institute of Technology

• Shimokohbe Akira

  Tokyo Institute of Technology

Bibliographic Information

Other Title

• 高出力·高集積基板面外駆動マイクロアクチュエータ

Abstract

本研究では，著者の所属する研究室で実現された，基板面外駆動マイクロアクチュエータの応用化を図るため，このアクチュエータの大発生力化・高集積化を目的とする．このアクチュエータの形状を独自の計算法を用いて改善し，発生力は従来の約10倍の0．8mNにすることに成功した．また多層配線用いて高集積化を図り，集積度は従来の25倍の100個，集積密度は従来の4倍の1mm²／個を達成した．

Journal

• Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

  Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2003A (0), 708-708, 2003

  The Japan Society for Precision Engineering

Keywords

• MEMS
• Microactuator
• Three-dementional structure
• Thin film metallic glass

Details

• CRID: 1390282680625738368
• NII Article ID: 130005026972
• DOI: 10.11522/pscjspe.2003a.0.708.0
• Data Source:
  • JaLC
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• Abstract License Flag: Disallowed