YAGレーザ第四高調波によるガラス製マイクロ機械要素の製作 Micro–machining of glass materials by FHG of Nd:YAG laser

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Abstract

本研究では,YAGレーザ第四高調波を用いてAg–Naイオン交換ガラスの微細加工を行った.まず,ガラス中の銀微粒子の分布形態とそのレーザ加工特性との関係を調査した.その結果,加工部周辺に微細な割れ·欠けを生じない低エネルギー密度領域では,加工レートが銀の浸入深さを境として大きく変化することが分かった.また5軸自動ステージ上に設置した試料に,三次元微細加工を行い,マイクロギア·タービン等の機械要素を製作した.

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2006S(0), 1225-1226, 2006

    The Japan Society for Precision Engineering

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