レーザを用いたガラスの凹凸微細形状創成に関する研究

• 栗原 宏明

  埼玉大学　工学部 機械工学科

• 池野 順一

  埼玉大学　大学院　理工学研究科　生産環境科学講座

• 澁谷 秀雄

  埼玉大学　大学院　理工学研究科　生産環境科学講座

• 鈴木 章彦

  埼玉大学　大学院　理工学研究科　生産環境科学講座

書誌事項

タイトル別名

• Study on Micro Concave–Convex shaped on glass by Laser beam

抄録

今までに、ガラスにほとんど吸収されないYAGレーザを重複させることでガラス表裏面に凸面を同時形成する手法を開発してきた。これにより、マイクロ凸レンズアレイや導光板としての応用が期待される。本報告では、さらに凸部のみではなく、同時に凹面も創成する加工法を考案し、実証したので詳細を報告する。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2006S (0), 331-332, 2006

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• レーザ微細加工
• 凹凸形状
• ガラス
• マイクロレンズ
• 表面機能

詳細情報

• CRID: 1390282680630425856
• NII論文ID: 130005027352
• DOI: 10.11522/pscjspe.2006s.0.331.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可