ビルトインセンサによる静電マイクロアクチュエータの変位制御

• 林 健彦

  東京工業大学　総合理工学研究科　メカノマイクロ工学専攻

• 福重 孝志

  東京工業大学　精密工学研究所

• 秦 誠一

  東京工業大学　フロンティア創造共同研究センター

• 下河邊 明

  東京工業大学　精密工学研究所

書誌事項

タイトル別名

• Displacement Control of an Electrostatic Microactuator Using a Built–in Sensor

抄録

先細り形状の基板電極を採用した,カールドアップ型静電マイクロアクチュエータはオープンループでフルストロークのアナログ的変位が可能であるが,外乱の影響が大きい.そこで本研究では,ビルトインセンサによる変位計測を行い,クローズドループ制御を適用することで,外乱の影響を抑制し,変位を制御する.基板上に設けたセンシング用電極と,可動電極間の静電容量を計測することによって,変位情報を取得する.

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2006S (0), 925-926, 2006

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• マイクロアクチュエータ
• 静電力
• ビルトインセンサ
• 静電容量
• クローズドループ制御

詳細情報

• CRID: 1390001205653164672
• NII論文ID: 130005027681
• DOI: 10.11522/pscjspe.2006s.0.925.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可