超音波音響粘性力と空気静圧力を組み合わせたフラットパネル基板の非接触搬送技術の開発(第四報)

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Non-contact Transportation of Flat Panel / Board by Combination of Ultrasonical Acoustic Viscous Force and Aerostatic Force
  • Development of non-contact guide for derailment prevention
  • 非接触脱落防止ガイドの開発

抄録

近年、平面基板や半導体ウエハの非接触搬送技術の開発が望まれている。本研究では、空気静圧力により、基板を非接触で浮上させた状態で、その上面を覆っているステータのたわみ進行波で発生する音響粘性力により、基板を非接触で搬送する。本報では、基板を搬送路から脱落することを防ぐために、音響放射圧を用いた非接触ガイドを提案し、実験を行ったので報告する。

収録刊行物

詳細情報

  • CRID
    1390001205651641856
  • NII論文ID
    130005028102
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2007a.0.767.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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