サブメートル級ナノ粒子配列膜製造技術の開発(2) Sub-meter scale assembly of nanoparticles through programmed self-assembly

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Abstract

リソグラフィに代わる新しい微細加工技術として自己組織化法が挙げられるが、熱力学的な支配下において、集積構造の統計的なバラつきは避けられない。筆者らは、外部刺激や鋳型を用いて自己組織化反応場を制御し、ナノ粒子を要望する場所に、要望する量だけ作製可能な技術の開発をおこなっている。本研究では、移流集積法と電気泳動堆積法を組み合わせた独自の装置を開発し、サブメートル級ナノ粒子配列膜の作製について検討した。

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2007A(0), 875-876, 2007

    The Japan Society for Precision Engineering

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