傾斜角積分法による放物面の形状計測

• 鷹家 優一

  大阪大学 工学研究科精密科学専攻

• 東 保男

  高エネルギー加速器研究機構 機械工作センター

• 遠藤 勝義

  大阪大学 工学研究科精密科学専攻

• 森 勇藏

  大阪大学 工学研究科精密科学専攻

• 打越 純一

  大阪大学 工学研究科精密科学専攻

• 久米 達哉

  高エネルギー加速器研究機構 機械工作センター

• 江並 和宏

  高エネルギー加速器研究機構 機械工作センター

書誌事項

タイトル別名

• The parabolic mirror measurement by use of the surface gradient integrated measuring method

抄録

高精度X線ミラー製作のための、超精密形状計測装置の開発を行っている。高精度な回転運動を用いて、ミラー面上での光の入反射光を一致させることで法線ベクトルの測定を行う。これまでの研究で、ミラー深さが15μmの楕円形状ミラーのnmオーダーでの計測に成功しており、1m平面ミラーや曲率半径300mmの球面ミラー計測が可能なことを示している。さらに今回、軸外し放物面ミラーの3次元計測へ挑戦を行った。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2007S (0), 425-426, 2007

  公益社団法人 精密工学会

詳細情報

• CRID: 1390001205651318144
• NII論文ID: 130005028509
• DOI: 10.11522/pscjspe.2007s.0.425.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可