数値制御ローカルウエットエッチングによるヨハンソン型二重湾曲分光結晶の加工
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of Johansson-type doubly curved crystal by numerically controlled local wet etching
抄録
微小部の高感度蛍光X線分析のためには、X線を単色化、集光することが必要である。単色化と集光を同時に実現する素子の一種として、ヨハンソン型の二重湾曲分光結晶があげられる。本素子の加工法として、化学反応により結晶性を乱すことなく形状創成が可能な数値制御ローカルウエットエッチング(NC-LWE)を提案した。本報では、試作したSi(111)分光結晶の加工方法、形状精度、および分光結晶としての性能を報告する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2009S (0), 265-266, 2009
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680628489856
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- NII論文ID
- 130005029571
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可