マイクロ繊毛アクチュエータ群の静電植毛 Electrostatic flocking of micro cilium actuators in group

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Abstract

パイプモルフアクチュエータからなるマイクロ繊毛アクチュエータ群の同時大量生産を可能にするために,部分ニッケルめっきをほどこした純チタン細線に水熱合成法により表面にPZT圧電セラミクス薄膜を形成したマイクロ繊毛アクチュエータの静電植毛はんだ接合を試みた.部分ニッケルめっきの高密度化,はんだのぬれ性の改善およびクリームはんだスポットの作成に基づき,アクチュエータ群の試作実験を行った.

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2009S(0), 637-638, 2009

    The Japan Society for Precision Engineering

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