サブメートル級ナノ粒子配列膜製造技術の開発(6)  [in Japanese]

Access this Article

Author(s)

Abstract

ナノ粒子を実環境、実時間において単層状に高密度で集積することにより、ナノ特有の機能を利用したデバイスの開発をおこなう。独自に改良した移流集積法より、粒子径260-1000nmの高分子ナノ粒子を90%以上の被覆率で単層状に集積することができた。成膜速度は最速で200 m/sに到達している。本発表では、単層膜成膜の物理機構を考察し、モデル化することにより、成膜速度と精度の向上について検討した。

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2009S(0), 729-730, 2009

    The Japan Society for Precision Engineering

Codes

Page Top