中性子集光用大面積非球面ミラー作製プロセスの開発  [in Japanese]

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Abstract

現在我々は、日本原子力研究開発機構と協力し、非球面スーパーミラーデバイスの開発に取り組んでいる。大きな発散角を持った中性子ビームを効率よく集光するためには、ミラー基板の大面積化が必要不可欠である。我々は精密研削、数値制御ローカルウエットエッチング、ローカル低圧研磨を組み合わせた高能率かつ高精度でダメージフリーな非球面ミラー基板作製プロセスを提案、開発した。本稿では、本プロセスの概要と長さ400mm、 幅 50mmの合成石英ミラー基板の試作とその集光特性評価について述べる。

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2010A(0), 725-726, 2010

    The Japan Society for Precision Engineering

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