数値制御プラズマCVMによるヨハンソン型Si(111)二重湾曲分光結晶のダメージフリー加工(第3報):形状創成加工後の表面粗さの低減  [in Japanese]

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ヨハンソン型二重湾曲分光結晶は、入射X線の集光と単色化を同時に行うことが可能な分光集光素子である。我々は分光結晶の加工法として、非接触な化学的無歪加工法である大気開放型数値制御プラズマCVMを用い、曲率半径誤差+0.08%の高精度でダメージフリーな曲面加工に成功している。しかし、加工後の表面粗さは悪化する傾向にある。本稿では表面粗さ悪化の原因について考察し、悪化を抑制するための手段について検討した。

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2010A(0), 731-732, 2010

    The Japan Society for Precision Engineering

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