レーザプローブ走査方式の超精密測定の研究

• 岡田 睦

  中部大学 工学部 機械工学科

• 鈴木 浩文

  中部大学 工学部 機械工学科

• 三浦 勝弘

  三鷹光器 第一製造部

• 松岡 伸夫

  菱光社 営業技術本部 計測開発室

• 片桐 健男

  菱光社 営業技術本部 計測開発室

• 白藤 芳則

  日精テクノロジー

• 渡辺 幸治

  日精テクノロジー

書誌事項

タイトル別名

• 青色レーザ利用による高精度化

抄録

レーザプローブ走査方式の超精密測定器により液晶導光板や回折格子など微細部品およびその金型の測定が可能となっている．しかし，最近は，その微細パターンが更に微細化し，従来の赤色レーザでは測定が困難となってきている．そこで，本研究では新たに，青色レーザ利用の計測システムを開発し，高精度化の検討を行ったので報告する．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2010A (0), 743-744, 2010

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 表面形状計測
• 三次元形状測定

詳細情報

• CRID: 1390282680630719744
• NII論文ID: 130005030337
• DOI: 10.11522/pscjspe.2010a.0.743.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可