高精度水平多関節型機構の位置決め精度測定

• 深田 茂生

  信州大学 機械システム工学科

• 長尾 晧広

  信州大学 機械システム工学科

• 清水 洸輔

  信州大学 機械システム工学科

書誌事項

タイトル別名

• Measurement of Positioning Accuracy by High-precision Planer Multi-joint Mechanism

抄録

前報で製作された高精度水平多関節型機構の位置決め精度を評価するため，新たな測定方法について検討している．機構本体は，1micronの理論位置決め分解能を目標仕様として設計製作されており，その位置決め精度の評価のためには従来よりも広範囲な領域に適用可能でかつ高精度な測定方法が必要である．そこで新たに，基準球と非接触変位センサを用いた測定システムを構成し，その有効性を検証している．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2010A (0), 913-914, 2010

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 精密位置決め
• 水平多関節型機構
• 位置決め精度
• 精度測定

詳細情報

• CRID: 1390282680631167232
• NII論文ID: 130005030432
• DOI: 10.11522/pscjspe.2010a.0.913.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可