めっき被膜の超精密切削加工性に関する検討

• 柴坂 敏郎

  神戸大学 工学研究科 機械工学専攻

• 木曽田 雄星

  神戸大学 工学研究科 機械工学専攻

• 白瀬 敬一

  神戸大学 工学研究科 機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Study on Ultra Precision Diamond Cutting of Plating Materials

抄録

光学機器製造用の金型あるいはマイクロ溝／パターン加工などの微細形状加工において、表面にメッキを施し、メッキ層で要求精度、微細形状を得る場合がある。メッキ材料としては、無酸素銅、無電解Ni-Pなどが現在用いられているが、本研究では新たなめっき被膜材料について、単結晶ダイヤモンドによる超精密切削加工の可能性を報告する。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2011S (0), 263-264, 2011

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 超精密切削加工
• めっき材料

詳細情報

• CRID: 1390001205654833792
• NII論文ID: 130005030566
• DOI: 10.11522/pscjspe.2011s.0.263.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可