弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密位置決め機構

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Ultra-precise Positioning over a One-Millimeter Stroke Using Flexure Guide And Electromagnetic Actuator
  • 4th report, Fabrication of integrated monolithic flexure mechanism
  • 第4報,一体化ヒンジ機構の構成

抄録

前報までに,複合板ばね機構を用いたX-Y-Yawの3自由度平面位置決め機構を構成し,ミリストロークにわたってナノメートルレベルの位置決めと連続軌跡制御が可能であることが実証された.しかし多数枚の板ばねをねじ締結する構造であるため,組立誤差による各軸間の干渉が障害となっていた.そこで新たにワイヤカット放電加工による一体化ヒンジ機構を設計製作し,位置決め機構の基本性能について実験により検討している.

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詳細情報

  • CRID
    1390001205655273472
  • NII論文ID
    130005030684
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2011s.0.475.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
    • KAKEN
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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