弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密位置決め機構:第4報,一体化ヒンジ機構の構成 Ultra-precise Positioning over a One-Millimeter Stroke Using Flexure Guide And Electromagnetic Actuator:4th report, Fabrication of integrated monolithic flexure mechanism

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抄録

前報までに,複合板ばね機構を用いたX-Y-Yawの3自由度平面位置決め機構を構成し,ミリストロークにわたってナノメートルレベルの位置決めと連続軌跡制御が可能であることが実証された.しかし多数枚の板ばねをねじ締結する構造であるため,組立誤差による各軸間の干渉が障害となっていた.そこで新たにワイヤカット放電加工による一体化ヒンジ機構を設計製作し,位置決め機構の基本性能について実験により検討している.

収録刊行物

  • 精密工学会学術講演会講演論文集

    精密工学会学術講演会講演論文集 2011S(0), 475-476, 2011

    公益社団法人 精密工学会

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