中性子集光用回転楕円ミラーの作製 第III報
書誌事項
- タイトル別名
-
- 小径パッドを用いた回転体石英マンドレルの形状修正と表面仕上げ
抄録
大きな発散角を有する中性子ビームを大強度かつ高効率に試料へと集光するため、多重回転体スーパーミラーの開発が求められている。我々は、高精度な自立型回転体スーパーミラーを作製するため母型に石英基盤を用いたレプリカ法を提案している。本研究では、球面パッドを用いた修正研磨による形状創成と平面パッドを用いた低圧研磨による表面粗さ改善を組み合わせた高精度回転体石英マンドレルの作製プロセスについて述べる。
収録刊行物
-
- 精密工学会学術講演会講演論文集
-
精密工学会学術講演会講演論文集 2012S (0), 1149-1150, 2012
公益社団法人 精密工学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282680632470144
-
- NII論文ID
- 130005031058
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可