差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め:開ループ駆動における位置決め性能と補正による精度向上  [in Japanese] Ultra-precise positioning over a One-Millimeter Stroke Using Differential Ball Screw:Positioning performance under open-loop operation and accuracy improvement by error compensation  [in Japanese]

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本研究は,1 mm程度のストロークにわたってナノメートルレベルの分解能を持つ位置決め機構を差動ボールねじで実現することを目的とする.前報までに,わずかにリードの異なるボールねじを同軸上に二重に配置した同軸二重差動ボールねじを試作した.本報では,ステッピングモータによる開ループ駆動の位置決め性能とねじ溝のリード誤差との関連を考察し,位置決め誤差の補正方法について実験的に検討している.

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2012S(0), 263-264, 2012

    The Japan Society for Precision Engineering

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