差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め:開ループ駆動における位置決め性能と補正による精度向上 [in Japanese] Ultra-precise positioning over a One-Millimeter Stroke Using Differential Ball Screw:Positioning performance under open-loop operation and accuracy improvement by error compensation [in Japanese]
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Abstract
本研究は，1 mm程度のストロークにわたってナノメートルレベルの分解能を持つ位置決め機構を差動ボールねじで実現することを目的とする．前報までに，わずかにリードの異なるボールねじを同軸上に二重に配置した同軸二重差動ボールねじを試作した．本報では，ステッピングモータによる開ループ駆動の位置決め性能とねじ溝のリード誤差との関連を考察し，位置決め誤差の補正方法について実験的に検討している．
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2012S(0), 263-264, 2012
The Japan Society for Precision Engineering