Ultra-precise positioning over a One-Millimeter Stroke Using Differential Ball Screw

DOI

Bibliographic Information

Other Title
  • 差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め
  • Positioning performance under open-loop operation and accuracy improvement by error compensation
  • 開ループ駆動における位置決め性能と補正による精度向上

Abstract

本研究は，1 mm程度のストロークにわたってナノメートルレベルの分解能を持つ位置決め機構を差動ボールねじで実現することを目的とする．前報までに，わずかにリードの異なるボールねじを同軸上に二重に配置した同軸二重差動ボールねじを試作した．本報では，ステッピングモータによる開ループ駆動の位置決め性能とねじ溝のリード誤差との関連を考察し，位置決め誤差の補正方法について実験的に検討している．

Journal

Related Projects

See more

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680632813440
  • NII Article ID
    130005031150
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012s.0.263.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
    • KAKEN
  • Abstract License Flag
    Disallowed

Report a problem

Back to top