プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の銅メタライジング:無電解銅めっき膜の密着強度におけるプラズマ発生圧力依存性  [in Japanese]

Access this Article

Author(s)

    • 大岡 健人 Ooka Kento
    • 大阪大 工学研究科 附属超精密科学研究センター Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering
    • 山本 悠人 Yamamoto Yuto
    • 大阪大 工学研究科 附属超精密科学研究センター Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering
    • 是津 信行 Zettsu Nobuyuki
    • 名古屋大 工学研究科 マテリアル理工学専攻 Department of Materials, Physics and Energy Engineering Graduate School of Engineering
    • 山村 和也 Yamamura Kazuya
    • 大阪大 工学研究科 附属超精密科学研究センター Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering

Abstract

我々は次世代高周波材料として期待されているフッ素ポリマー表面の銅メタライジングプロセスの開発を進めてきた.大気圧プラズマプロセスと液相中の自己組織化を融合させた大気圧プラズマ化学液相堆積法を用いることにより,フッ素ポリマー表面の高密着性銅メタライジングを実現してきた.本研究ではプラズマ発生圧力がフッ素ポリマー表面への過酸化物ラジカルの形成および無電解銅めっき膜の密着強度に与える影響について調べた.

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2012S(0), 391-392, 2012

    The Japan Society for Precision Engineering

Codes

Page Top