モザイク格子サーフェスエンコーダに関する研究

DOI
  • 細野 幸治
    東北大　工学研究科 ナノメカニクス専攻
  • 金 于載
    東北大　工学研究科 ナノメカニクス専攻
  • 清水 裕樹
    東北大　工学研究科 ナノメカニクス専攻
  • 伊東 聡
    東北大　工学研究科 ナノメカニクス専攻
  • 高 偉
    東北大　工学研究科 ナノメカニクス専攻

書誌事項

タイトル別名
  • A surface encoder for a mosaic XY grating
  • Design and test of a multi-probe sensor head
  • マルチプローブセンサヘッドの開発

抄録

筆者らは，2枚のXY格子からのXY方向±1次回折光によって生じる干渉信号からXYZ 3軸の変位を同時計測できる3軸サーフェスエンコーダを提案してきた．本センサはXY格子を3軸変位検出の計測基準として用いているため，XY方向の計測範囲はスケール用XY格子のサイズによって決まる．本報では，モザイクXY格子によりXY方向の計測範囲を拡大する手法を提案する．モザイクXY格子に対応したセンサヘッドを開発し，その有効性を確認した．

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205656471424
  • NII論文ID
    130005031244
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012s.0.431.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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